Магнетроны по требованиям заказчика

Мы готовы разработать и изготовить любые магнетроны по требованиям заказчиков.

Магнетронные системы относятся к системам распыления диодного типа, в которых распыление материала происходит за счет бомбардировки поверхности мишени ионами рабочего газа (обычно аргона), образующимися в плазме аномального тлеющего разряда. Высокая скорость распыления, характерная для этих систем, достигается увеличением плотности ионного тока за счет локализации плазмы у распыляемой поверхности мишени с помощью сильного поперечного магнитного поля.

Планарные магнетроны

Магнитное поле на основе постоянных SmCo магнитов
Стандартные размеры мишеней:	660 х 70 х 10 мм
Толщина мишени:	10 мм (возможно увеличение до 20 мм)
Коэффициент использования материала мишени:	35 - 40%.
Рабочее давление:	0,1 - 1,0 Па.
Распыляемые материалы:	медь, титан, нержавеющая сталь и др.
Прямое (непосредственное) охлаждение мишени.
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более:	5%.

Дуальные магнетроны

Магнитное поле на основе постоянных SmCo магнитов
Стандартные размеры мишеней:	660 х 70 х 10 мм
Толщина мишени:	10 мм (возможно увеличение до 20 мм)
Коэффициент использования материала мишени:	40-45%.
Рабочее давление:	0,1 - 1,0 Па.
Распыляемые материалы:	медь, титан, нержавеющая сталь и др.
Прямое (непосредственное) охлаждение мишени.
Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более:	5%.