Мы разрабатываем низкоэнергетические и высокоэнергетические ионные источники для проведения ионной очистки и ионного ассистирования при нанесении покрытия.

Низкоэнергетический ионный источник «АИДА»

Низкоэнергетичный ионный источник «АИДА» представляет собой торцевой холловский ускоритель, предназначенный для ионной активации подложек и ионного ассистирования при осаждении вакуумных покрытий, а также для реактивного травления, прокисления, азотирования и других технологических процессов.

Технические характеристики источника «АИДА»

Максимальный ток анода:	5 A
Номинальный ток анода	2-4 А
Напряжение питания анода	0-250 В
Ток катода	0-30 А
Ток соленоида	0,1-5 А
Диапазон рабочих давлений (в среде аргона):	5⋅10-1 - 3⋅10-2 Па
Уровень пульсаций напряжения:
Анода:	Не более 5%
Соленоида:	Не более 5%
Габариты ионного источника:	235 х 163 мм
Габариты блока питания:	482 x 132 x 515 мм
Масса ионного источника:	14 кг
Масса источника питания:	16 кг
Индикация выходного тока и напряжения:	Цифровая
Погрешность измерения тока и напряжения, не более:	2%

Высокоэнергетичный ионный источник (УАС)

Ионный источник выполнен на основе магнитной системы, имеющей конфигурацию типа "рейстрек" (ускоритель с анодным слоем).
Данный ионный источник предназначен для ионной активации подложек, азотирования, реактивного травления и других технологических процессов.

Максимальный ток анода:	0,35 A
Номинальный ток анода	0,1-0,3 А
Напряжение питания анода	1000-4000 В
Ток катода	0-40 А
Диапазон рабочих давлений (в среде аргона):	5⋅10-1 - 3⋅10-2 Па
Уровень пульсаций напряжения:
Анода:	Не более 5%
Габариты ионного источника:	950 х 170 х 60 мм
Габариты блока питания:	482 x 132 x 515 мм
Масса ионного источника:	20 кг
Индикация выходного тока и напряжения:	Цифровая
Погрешность измерения тока и напряжения, не более:	2%