ООО "БелРосВак"

Семейство вакуумных установок BRV1000-R 

 

Семейство вакуумных установок BRV1000R предназначено для нанесения металлических, в том числе резистивных покрытий на различные элементы высокоскоростным магнетронным методом с возможностью ионной очистки, либо ионного ассистированя.

dsc_0780_ps_1
p60330-103048

Вакуумная установка состоит из:

- вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 1000×780 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;

- двери вакуумной камеры из нержавеющей стали с двойной сплошной рубашкой охлаждения;

- иллюминатора из кварцевого стекла с заслонкой;

- пирометра/термопары;

- каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;

- защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;

- технологической оснастки с системой сканирования подложек;

- системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;

- системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапана;

- стойки управления и питания;

- поддона с выдвижной клавиатурой;

- гидро- пневмосистемы;

- пяти магнетронов, из которых четыре могут работать как несбалансированные;

- датчиков низковакуумных;

- клапана напуска воздуха в камеру;

- датчика высоковакуумного магниторазрядного;

- датчика средневакуумного ионизационного;

- затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;

- турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;

- источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса системы управления (поз. 22);

- 17-дюймового тактильно-чувствительного монитора;

- агрегата форвакуумного «сухого»;

- высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;

- блока питания ионного источника;

- блоков питания магнетронов;

- расходомеров;

- блока управления расходомерами;

- кварцевого контроля толщины (отдельная опция);

- контроля сопротивления по свидетелю (отдельная опция);

- встроенного компрессора (отдельная опция).

Показатели назначения.

- Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более 5%.

- скорость нанесения меди не менее 2 мкм/мин. (с использованием 4-х несбалансированных магнетронов);

- скорость нанесения ванадия/тантала не менее 0,1 мкм/мин. (с использованием одного несбалансированного магнетрона);

- возможность нанесения покрытий на одну, либо обе стороны подложек в одном цикле;

- плотность ионного тока ионного источника – не менее 5 мА/см2;

- количество подложек размером 60х48х1 (0,5; 1) мм – не менее 40 шт. при скорости нанесения меди 2 мкм/мин.

- количество подложек размером 60х48х1 (0,5; 1) мм – не менее 288 шт. при скорости нанесения меди 0,5 мкм/мин.

- Средний уровень шума, дБа, не более: 75.

- Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: 8.

- Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более 110.

-Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не

более: 10.

- Габариты вакуумной установки, мм, ДхШхВ, не более: 2834х11364х2280

- Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: 1520.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 1000-R Вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже: