Семейство вакуумных установок BRV 700-DLC

Скачать описание

На основе BRV 700-DLC реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением алмазо-подобных покрытий импульсно-дуговым методом с ионной очисткой.

Вакуумная установка состоит из:

• вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения;
• турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе, со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту, с контроллером;
• импульсно-дугового испарителя, установленного на сепараторе;
• поворачивающих соленоидов с источниками питания;
• кварцевых датчиков толщины наносимых покрытий с контроллером;
• лазера с блоками питания;
• степпера – системы фокусировки луча лазера и его перемещения вдоль оптического ввода и поворота на 90°;
• низкоэнергетичного ионного источника для ионной очистки с блоком питания;
• технологической оснастки с одинарным и двойным вращением с вводом вращения;
• каркаса силового;
• затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом, не менее Ду250;
• «сухого» насоса со скоростью откачки не менее 20 л/с по азоту;
• форвакуумного клапана с Ду40 (пневмопривод), байпасного клапана Ду63 (пневмопривод);
• активных датчиков давления (вакуума);
• защитно-декоративных панелей со встроенными замками;
• системы управления и питания;
• емкостного аккумулятора и блока зарядки емкостного аккумулятора;
• расходомеров с блоками питания;
• панельного компьютера, клавиатуры;
• пневмо-гидропанели

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV700-DLC вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по куполу не более:	±1,5%.
Неравномерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу не более:	±1%. Предусмотрена система установки подвижных и неподвижных масок.
Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40 мм, шт.:	не менее 90.
Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 150 мм, шт.:	не менее 6.
Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 320 мм, шт.:	не менее 3.
Вместимость столика для деталей диаметром до 500 мм, шт.:	одна.
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более:	200.
Средний уровень шума, дБа, не более:	75.
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее:	8.
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более:	30.
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более:	5.
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более:	2000×1500×2000.
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более:	1320.
Скорость нанесения, мкм/ч – не менее:	0,5.
Коэффициент пропускания на длине волны 10 мкм для одностороннего покрытия на германии, % не менее:	61.
Класс прочности:	«0» группа по ГОСТ 3-1901.95.