Семейство вакуумных установок BRV 700-O

Скачать описание

На основе BRV 700-O формируются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением однослойных и многослойных оптических покрытий методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием.

Вакуумная установка состоит из:

• вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения и вводами для монтажа охлаждаемой ловушки (отдельная опция);
• двух электронно-лучевых испарителей с заслонками;
• резистивного испарителя с заслонкой;
• системы оптического контроля наносимого покрытия с механизмом смены контрольных образцов;
• кварцевых датчиков толщины наносимых покрытий с контроллером;
• низкоэнергетичного ионного источника для ионной очистки и ассистирования с блоком управления и питания;
• технологической оснастки с одинарным и двойным вращением;
• системы подвижных и неподвижных масок для выравнивания толщины наносимых покрытий по поверхности детали;
• нагревателя деталей с использованием ТЭНов и датчика температуры;
• каркаса силового;
• турбомолекулярного насоса (ТМН) на магнитном подвесе, со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту;
• затвора высоковакуумного не менее Ду250 (пневмопривод);
• «сухого» насоса со скоростью откачки не менее 20 л/с по азоту;
• форвакуумного клапана с Ду40 (пневмопривод);
• байпасного клапана Ду63 (пневмопривод);
• аварийного клапана Ду63 (пневмопривод);
• активных датчиков давления (вакуума);
• защитно-декоративных панелей со встроенными замками;
• системы управления и питания.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV700-O вы можете,скачав ее описание по ссылке выше

Технические характеристики

Неравномерность нанесения покрытий по куполу	не более ±1,5%
Неравномерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу	не более ±1%
Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40 мм, шт.	не менее 90
Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром 40 мм, шт.	не менее 54
Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг	не более 100
Средний уровень шума, дБа	не более 75
Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет	не менее 8
Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт	не более 30
Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2	не более 4
Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В	1600×1800×2050
Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг	не более 1320
Максимальное количество слоев покрытий за один цикл, шт	до 120