ООО "БелРосВак"

Семейство вакуумных установок BRV 700-o 

 

На основе BRV 700-O формируются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением однослойных и многослойных оптических покрытий методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием.

dsc_0780_ps_1
p60330-103048
_схема

Вакуумная установка состоит из:

-вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения и вводами для монтажа охлаждаемой ловушки (отдельная опция);

-двух электронно-лучевых испарителей с заслонками;

-резистивного испарителя с заслонкой;

-системы оптического контроля наносимого покрытия с механизмом смены контрольных образцов;

-кварцевых датчиков толщины наносимых покрытий с контроллером;

-низкоэнергетичного ионного источника для ионной очистки и ассистирования с блоком управления и питания;

-технологической оснастки с одинарным и двойным вращением;

-системы подвижных и неподвижных масок для выравнивания толщины наносимых покрытий по поверхности детали;

-нагревателя деталей с использованием ТЭНов и датчика температуры;

-каркаса силового;

-турбомолекулярного насоса (ТМН) на магнитном подвесе, со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту;

-затвора высоковакуумного не менее Ду250 (пневмопривод);

-«сухого» насоса со скоростью откачки не менее 20 л/с по азоту;

-форвакуумного клапана с Ду40 (пневмопривод);

-байпасного клапана Ду63 (пневмопривод);

-аварийного клапана Ду63 (пневмопривод);

-активных датчиков давления (вакуума);

-защитно-декоративных панелей со встроенными замками;

-системы управления и питания.

Показатели назначения.

- Неравномерность нанесения покрытий по куполу не более ±1,5%. Неравномерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу не более ±1%. Предусмотрена оснастка для установки масок.

- Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40 мм, шт.: не менее 90.

- Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром 40 мм, шт.: не менее 54.

- Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более: 100.

- Средний уровень шума, дБа, не более: 75.

- Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: 8.

- Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более: 30.

- Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: 4.

- Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: 1600×1800×2050.

- Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: 1320.

- Максимальное количество слоев покрытий, которое можно нанести на данной установке, шт. – 88.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 700-O Вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже: