ООО "БелРосВак"

магнетроны

 

Магнетронные системы относятся к системам распыления диодного типа, в которых распыление материала происходит за счет бомбардировки поверхности мишени ионами рабочего газа (обычно аргона), образующимися в плазме аномального тлеющего разряда. Высокая скорость распыления, характерная для этих систем, достигается увеличением плотности ионного тока за счет локализации плазмы у распыляемой поверхности мишени с помощью сильного поперечного магнитного поля.

333

ПЛАНАРНЫЕ МАГНЕТРОНЫ

- Магнитное поле на основе постоянных SmCo магнитов.

- Стандартные размеры мишеней: 660*70*10 мм.

- Толщина мишени - 10 мм (возможно увеличение до 20 мм); коэффициент использования материала мишени - 35...40%.

- Рабочее давление - 0,1...1,0 Па.

- Распыляемые материалы - медь, титан, нержавеющая сталь и другие.

- Прямое (непосредственное) охлаждение мишени.

- Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более 5%.

ДУАЛЬНЫЕ МАГНЕТРОНЫ

- Магнитное поле на основе постоянных SmCo магнитов.

- Стандартные размеры мишеней: 660*70*10 мм.

- Толщина мишени - 10 мм (возможно увеличение до 20 мм); коэффициент использования материала мишени - 40...45%.

- Рабочее давление - 0,1...1,0 Па.

- Распыляемые материалы - медь, титан, нержавеющая сталь и другие.

- Прямое (непосредственное) охлаждение мишени.

- Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более 5%.

МАГНЕТРОНЫ ПО ТРЕБОВАНИЯМ ЗАКАЗЧИКА

Мы готовы разработать и изготовить любые магнетроны по требованиям заказчиков.

 

МАГНЕТРОНЫ ПО ТРЕБОВАНИЯМ ЗАКАЗЧИКА

Мы готовы разработать и изготовить любые магнетроны по требованиям заказчиков.