ООО "БелРосВак"

Семейство вакуумных установок BRV 750-M

 

На основе BRV 750-M реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены магнетронным методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

2
1
_схема

Вакуумная установка состоит из:

-вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 750×1000 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;

-двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;

-кварцевого иллюминатора;

-каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;

-защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;

-технологической оснастки с двойным планетарным вращением;

-системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;

-системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;

-системы управления;

-гидро-пневмосистемы;

-двух пар дуальных магнетронов;

-трех датчиков низковакуумных;

-клапана напуска воздуха в камеру;

-датчика высоковакуумного, датчика средневакуумного;

-затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;

-турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;

-источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса и системы управления;

-17-дюймового панельного компьютера;

-агрегата форвакуумного «сухого»;

-высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;

-блока питания ионного источника;

-блоков питания магнетронов;

-трех расходомеров РРГ10 и блока управления расходомерами;

-изолированного привода вращения;

-комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;

-комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;

-встроенного компрессора.

Показатели назначения.

- Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более 5%.

- Скорость нанесения, не менее 4 мкм/час.

- Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более: 200.

- Средний уровень шума, дБа, не более: 75.

- Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: 8.

- Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более 30.

- Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: 5.

- Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: 2150×1760×2000.

- Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: 1320.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 750-M Вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже:

p60823-145615_1234