ООО "БелРосВак"

Низкоэнергетичный ионный источник «АИДА»

Низкоэнергетичный ионный  источник «АИДА» представляет собой торцевой холловский ускоритель,

предназначенный для ионной активации подложек и ионного ассистирования при осаждении вакуумных покрытий, а также для реактивного травления, прокисления, азотирования и других технологических процессов.

 

Технические характеристики:

1. Максимальный ток анода: 5 А;

2. Номинальный ток анода: 2...4 А;

3. Напряжение питания анода: 0...250 В;

4. Ток катода: 0...30 А;

5. Ток соленоида: 0,1...5,0 А;

6. Диапазон рабочих давлений (в среде аргона): 5*10-1...3*10-2 Па;

7. Уровень пульсаций напряжения:

  7.1. анода - не более 5%;

  7.2. соленоида - не более 5%;

8. Габариты ионного источника: 235*163 мм;

9. Габариты блока питания: ширина - 482 мм, высота - 3U (132,5 мм), глубина - 515 мм;

10. Масса ионного источника: 14 кг;

11. Масса блока питания: 16 кг;

12. Индикация выходного тока и напряжения - цифровая;

13. Погрешность измерения тока и напряжения, не более 2%.

_3_1

Высокоэнергетичный ионный источник (УАС)

Ионный источник выполнен на основе магнитной системы, имеющей конфигурацию типа "рейстрек" (ускоритель с анодным слоем).

Данный ионный источник предназначен для ионной активации подложек, азотирования, реактивного травления и других технологических процессов.

 

Технические характеристики:

1. Максимальный ток анода: 0,35 А;

2. Номинальный ток анода: 0,1...0,3 А;

3. Напряжение питания анода: 1000...4000 В;

4. Ток катода: 0...40 А;

5. Диапазон рабочих давлений (в среде аргона): 5*10-1...3*10-2 Па;

6. Уровень пульсаций напряжения:

  6.1. анода - не более 5%;

7. Габариты ионного источника: 950*170*60 мм;

8. Габариты блока питания: ширина - 482 мм, высота - 3U (132,5 мм), глубина - 515 мм;

9. Масса блока питания: 20 кг;

10. Индикация выходного тока и напряжения - цифровая;

11. Погрешность измерения тока и напряжения, не более 2%.

ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ

уас_2_ред