Электронно-лучевые испарители

ЭЛИ предназначен для испарения в вакууме тугоплавких окислов, полупроводниковых материалов и металлов. Испарение производится при давлении не выше 5*10-2 Па (4*10-4 мм.рт.ст.). Для нагрева испаряемого материала используется энергия сфокусированного пучка ускоренных электронов.

Электронно-лучевой испаритель состоит из четырех основных узлов: - источника электронов; - системы поворота и отклонения электронного пучка; - тигля, в котором помещается испаряемый материал; - системы позиционирования и вращения тиглей.

Источник электронов – электронная пушка представляет собой диодную систему, состоящую из катодного узла и анода. Катод представляет собой спираль наружным диаметром 2 мм из вольфрамовой проволоки диаметром 0,6 мм, закрепленную в держателях. Число витков спирали может составлять от 6 до 10, в зависимости от требуемого максимального тока эмиссии.

Система поворота и отклонения электронного пучка по оси «Х» служит для направления электронного пучка в тигель (с поворотом его на угол 270°) и перемещения его по поверхности испаряемого материала. Система состоит из электромагнитной катушки с сердечником и полюсных башмаков, закрепленных на медном водоохлаждаемом корпусе винтами. Катушка находится внутри водоохлаждаемого корпуса, герметизирована с помощью фланцев через резиновую прокладку винтами.

Система отклонения электронного пучка по оси «Y» включает в себя электромагнитную катушку, которая находится в медном корпусе, состоящем из двух частей с сердечниками и полюсными башмаками. Сбоку катушки находится разъем, аналогичный по устройству катушки по оси «Х».