ООО "БелРосВак"

электронно-лучевые испарители (ЭЛИ)

 

ЭЛИ предназначен для испарения в вакууме тугоплавких окислов, полупроводниковых материалов и металлов. Испарение производится при давлении не выше 5*10-2 Па (4*10-4 мм.рт.ст.). Для нагрева испаряемого материала используется энергия сфокусированного пучка ускоренных электронов.

 

Электронно-лучевой испаритель состоит из четырех основных узлов:

- источника электронов;

- системы поворота и отклонения электронного пучка;
- тигля, в котором помещается испаряемый материал;
- системы позиционирования и вращения тиглей.

p60330-103048

Источник электронов – электронная пушка представляет собой диодную систему, состоящую из катодного узла и анода. 

Катод представляет собой спираль наружным диаметром 2 мм из вольфрамовой проволоки диаметром 0,6 мм, закрепленную в держателях. Число витков спирали может составлять от 6 до 10, в зависимости от требуемого максимального тока эмиссии.

 

Система поворота и отклонения электронного пучка по оси «Х» служит для направления электронного пучка в тигель (с поворотом его на угол 270°) и перемещения его по поверхности испаряемого материала. Система состоит из электромагнитной катушки с сердечником и полюсных башмаков, закрепленных на медном водоохлаждаемом корпусе винтами. Катушка находится внутри водоохлаждаемого корпуса, герметизирована с помощью фланцев через резиновую прокладку винтами.

 

Система отклонения электронного пучка по оси «Y» включает в себя электромагнитную катушку, которая находится в медном корпусе, состоящем из двух частей с сердечниками и полюсными башмаками. Сбоку катушки находится разъем, аналогичный по устройству катушки по оси «Х».

технические характеристики:

- угол поворота луча – 270°;

- максимальная мощность – 9 кВт;

- выходное напряжение регулируемое до 9 кВ;
- две рабочие ступени 6 и 9 кВ;
- выходной ток 0...1000 мA;
- пульсация выходного напряжения 1%;
- точность стабилизации выходного напряжения 1%;
- выходной ток блока накала до 40 А;
- выходное напряжение блока накала до 10 В переменного тока;

- точность позиционирования тигля – не более 1°;

- объем однопозиционного тигля электронно-лучевого испарителя – до 135 см3;

- объем позиции шестипозиционного тигля электронно-лучевого испарителя – до 9 см3.

0916_2
0922