Дуговой испаритель предназначен для испарения материала катода и создания плазмы в вакууме. Такой испаритель используется для нанесения различных функциональных покрытий чистыми металлами или их соединениями (нитриды, карбиды, карбонитриды и др.). В качестве материала мишени используются: титан, хром, цирконий, гафний, алюминий и другие металлы, а также их сплавы.

Испаритель устойчиво работает в диапазоне от 40 до 150 А потребляемого тока, при давлении от 1 до 1⋅10^-3 Па. Испаритель обеспечивает стабилизацию дуги на торце катода и равномерное испарение материала катода. Испарение материала катода не менее 80% от массы без использования систем сепарирования и не менее 50% от массы при использовании систем сепарирования плазменного потока.

Технические характеристики

- электромагнитное управление дугой;

- диаметр катода – 70 мм;

- прямое охлаждение катода;

- система поджига – электронная;

- скорость нанесения покрытия (TiN), не менее 1 мкм/час.

Блок питания дугового испарителя

- напряжение холостого хода – 90 В;

- рабочее напряжение – 45 В;

- максимальный рабочий ток – 150 А;

- минимальный рабочий ток – 40 А;

- режим работы – круглосуточный.