ООО "БелРосВак"

семейство вакуумных установок BRV 700-DLC

 

На основе BRV 700-DLC реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением алмазо-подобных покрытий импульсно-дуговым методом с ионной очисткой.

dsc_0779_ps_1
_схема
p51221-134212_1

Вакуумная установка состоит из:

-вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения;

-турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе, со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту, с контроллером;

-импульсно-дугового испарителя, установленного на сепараторе;

-поворачивающих соленоидов с источниками питания;

-кварцевых датчиков толщины наносимых покрытий с контроллером;

-лазера с блоками питания;

-степпера – системы фокусировки луча лазера и его перемещения вдоль оптического ввода и поворота на 90°;

-низкоэнергетичного ионного источника для ионной очистки с блоком питания;

-технологической оснастки с одинарным и двойным вращением с вводом вращения;

-каркаса силового;

-затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом, не менее Ду250;

-«сухого» насоса со скоростью откачки не менее 20 л/с по азоту;

-форвакуумного клапана с Ду40 (пневмопривод), байпасного клапана Ду63 (пневмопривод);

-активных датчиков давления (вакуума);

-защитно-декоративных панелей со встроенными замками;

-системы управления и питания;

-емкостного аккумулятора и блока зарядки емкостного аккумулятора;

-расходомеров с блоками питания;

-панельного компьютера, клавиатуры;

-пневмо-гидропанели.

Показатели назначения.

- Неравномерность нанесения покрытий по куполу не более ±1,5%. Неравномерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу не более ±1%. Предусмотрена система установки подвижных и неподвижных масок.

- Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40 мм, шт.: не менее 90.

- Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 150 мм, шт.: не менее 6.

- Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до 320 мм, шт.: не менее 3.

- Вместимость столика для деталей диаметром до 500 мм, шт.: одна.

- Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более: 200.

- Средний уровень шума, дБа, не более: 75.

- Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: 8.

- Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более: 30.

- Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: 5.

- Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: 2000×1500×2000.

- Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: 1320.

- Скорость нанесения, мкм/ч – не менее 0,5.

- Коэффициент пропускания на длине волны 10 мкм для одностороннего покрытия на германии, % не менее 61.

- Класс прочности «0» группа по ГОСТ 3-1901.95.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 700-DLC Вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже: