ООО "БелРосВак"

семейство вакуумных установок BRV 700-D

 

На основе BRV 700-D реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены вакуумно-дуговым методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

_ps
_5_1
_дуговая

Вакуумная установка состоит из:

-вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;

-двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленным пирометром и кварцевым иллюминатором с заслонокой;

-каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;

-технологической оснастки с двойным планетарным вращением;

-шести нагревателей;

-системы откачки, включающей в себя форвакуумный и байпасный клапаны;

-системы управления;

-гидро-пневмосистемы;

-четырех дуговых испарителей;

-трех датчиков низковакуумных;

-клапана напуска воздуха в камеру;

-датчика высоковакуумного;

-затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;

-турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;

-17-дюймового панельного компьютера;

-насоса Рутса;

-насоса пластинчато-роторного;

-двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки и ассистирования с блоками питания;

-четырех блоков питания дуговых испарителей;

-трех расходомеров;

-изолированного, водоохлаждаемого ввода вращения;

-четырех блоков поджига дуговых испарителей;

-одного колена 90°;

-контроллера турбомолекулярного насоса;

-блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку.

Показатели назначения.

- Неравномерность нанесения покрытий по вертикали не более 5%.

- Скорость нанесения TiN, не менее 4 мкм/час.

- Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не более: 500.

- Средний уровень шума, дБа, не более: 75.

- Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: 8.

- Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более: 30.

- Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуумного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: 5.

- Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: 2145×2160×2000.

- Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера, кг, не более: 1320.

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 700-D Вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже: